ニュース 2020年7月1日 東京エレクトロンデバイス AI活用し予知保全 東京エレクトロンデバイス(横浜市神奈川区)は、AIを活用した予知保全プラットフォーム「CX-D」を開発し、6月16日から販売開始した。 近年、設備の状態監視にAIなど…