東京エレクトロンデバイス、AIソフトウエア自動で生成・監視

東京エレクトロンデバイスは、生産設備の稼働状態の変化を検知する稼働監視AIの生成・監視を自動で行う、クイックAI監視ソフトウエア「CX-W」を8月6日から販売開始した。

生産現場の装置は種類が多く、同じ製造装置でも装置ごとの特性や生産品の違いによって稼働状態が異なるため、AIによる監視を行う場合は装置ごとに監視用AIを開発する必要がある。

CX-Wは、通常の稼働状態から変化をとらえ、警告指数として定量的に記録・表示するソフトウエア。数値分布や相関関係を学習し、装置の種類や特性、製造品などに合わせた装置ごとの監視用AIを現場で自動生成する。個別に学習データを用意する必要がなく、監視用PCにインストールするだけでAIの生成・監視が可能になる。

稼働状態に変化が発生した際には、原因となったデータの種類と変化の度合いを示す警告指数を判定結果として表示するため、即座に予知保全対策をとることができる。